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主要產品: 光刻機,紫外光刻機,激光直寫光刻機,電子束光刻機, 雙光子微納3D系統,準分子激光器,鍍膜機,磁控濺射機,電子束蒸發機,化學沉積機,微波等離子沉積機MPCVD,原子層沉積機ALD,等離子刻蝕機ICP/RIE,電子顯微鏡/FIB-SEM,超聲波掃描顯微鏡,原子力顯微鏡,開封機,太陽能吸收率發射率檢測儀,太陽模擬器,光譜儀,紫外臭氧清洗機, UV清洗機,晶圓清洗機,UV清洗燈,曝光燈,光刻膠/UV膠,晶圓/硅片/外延片等......
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