德國UnitemP真空快速退火爐RTP-150, 單晶圓，150mm，最快升溫速率可達150K/s

· 6”單晶圓
· 升溫速率可達到150K/s
· 7“液晶觸控面板操作
· SPS SIMATIC 軟件控制
· 真空度可達10^-3hPa
· MFC 控制
 

特點

· 精確控制快速升降溫速率

· 優異的溫度均勻性

· 可升級4 路工藝氣體（MFC）

· 集成數據存儲

· 紅外鹵素燈加熱

· 不少于50 個可編程序，50 步

· 小型化設計

應用

· 離子注入退火與電極合金化

· RTP, RTA, RTO, RTN

· 不同氣氛下退火，氧氣、氮氣等常見氣體

· SiAu，SiAl，SiMo 合金化

· 低k 電介質

· 晶相化和堅化、、、

德國RTP-150 真空快速退火爐 

技術參數:

樣品尺寸: 150mm 直徑

最高溫度: 1200℃

溫度均勻性: ≤1.5% @設定溫度

升溫速率: 升溫速率

降溫速率: T=1000℃→400℃:200K/min，T=400℃→100℃：30K/min

真空度:  可達10^-3hPa

樣品室材質： 石英玻璃腔體帶通用石英載物臺

樣品室高度： 18mm 134×169×18mm

工藝室尺寸：（W×D×H）

加熱方式：24只紅外鹵素燈（21kW）上下排列加熱

工藝氣體：MFC 控制（ 氮氣5nlm）

 控制系統：SIMATIC，50 個可編程序，50 個步

樣品室冷卻：水冷靜

基片冷卻：氣冷

設備：

設備尺寸：505mm×525（700）mm×570mm（W×D×H）

重量：55kg

水電：CEE 3×32A, 230V, 3~ + N + PE,

選配：

1. RTP-H2：氫氣氣路含安全裝置（傳感器和氫氣檢測器）
2. RTP-H2S：硫化氫氣路含安全裝置（防護罩和傳感器）
3. RTP-MFC：其他工藝氣路，MFC 控制，最多4 路
4. RTP-OxAtAn：氧氣分析儀用以測量氧氣殘余
5. RTP-MM： 濕度分析儀用以檢測樣品室濕度
6. RTP-SW： 開關箱
7. RTP-TC： 額外的熱電偶

8. RTP-VAC I： 真空測量系統，本底真空到3hPa，真空規，真空閥，不包含真空泵。
9. RTP-VAC II：真空測量系統，適用真空到10^-3hPa，皮拉尼真空規，真空閥，不包含真空泵。
10. RTP-VCR：VCR 管（焊接）

附件：

1. RTP-GP-150：石墨托盤or 適配器（選配：SiC 涂層）
2. RTP-GP-100：石墨托盤or 適配器（選配：SiC 涂層）
3. RTP-QR-50：50mm 晶圓基座（石英）
4. RTP-QR-75：75mm 晶圓基座（石英）
5. MP：隔膜泵，真空：3hPa
6. RVP：旋片泵or 干泵，真空：10-3hPa

RTP-150 的實際溫度曲線