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NSR-1755G7 G-line步進光刻機
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Nikon G-line步進光刻機
規格型號:Nikon NSR-1755G7
技術指標及功能
適用于分辨率不低于0.65μm的大規模集成電路工藝器件量產的G-line步進式光刻機。
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