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Nikon NSR-i12 I線步進式光刻機
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I線步進式光刻機 / i-line stepper
型號:Nikon NSR-i12
技術指標及功能
廣泛應用于生產線,是6英寸,8英寸等主力I線生產機臺,適用于I線光刻膠的曝光,操作簡單,曝光精度準,解析力最高可達0.35UM (350NM)
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