Nikon 步進光刻機及幾種研發常用試驗機型資料

I線步進式光刻機 / I-line stepper

型號：Nikon NSR-I12

技術指標及功能

廣泛應用于生產線，是6英寸，8英寸等主力I線生產機臺，適用于I線光刻膠的曝光，操作簡單，曝光精度準，解析力最高可達0.35UM （350NM）

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Nikon G-line步進光刻機

規格型號：Nikon NSR-1755G7

技術指標及功能

適用于分辨率不低于0.65μm的大規模集成電路工藝器件量產的G-line步進式光刻機。

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Nikon NSR 1755i7B 6英寸分步重復光刻機 

技術指標及功能

把掩膜版上的圖形按照一定的比例縮小復制到涂布有光刻膠的晶圓上，分區域進行步進式曝光。本機臺可用于125mm×125mm掩模和φ100mm及150mm的晶圓高精度投影曝光，曝光精度可達500nm。
　　　基本指標1. RESOLUTION：0.5μm
　　　        2. LENS DISTORTION：≤0.9μm
　　　　　　　3. RETICLE ALIGNMENT ACCURACY：≤0.02μm
　　　　　　　4. STEPPING ACCURACY：≤0.08μm
　　　　　　　5. OVERLAY ACCURACY：≤0.15μm(X,Y)
　　　　　　  6. OPEN FLAME(MAX. EXPOSURE AREA)：17.5×17.5mm

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步進式投影光刻機

分辨率:0.35μm， 套刻精度:< 75nm, 十字線對準:5:1 ， 150毫米* 150毫米

Resolution：0.35μm, overlay accuracy：<75nm Reticle：5:1 150mm*150mm