SU-8 膠已成為微機電系統（MEMS）制造領域中首選的光刻膠。然而 SU-8 膠最致命的缺點就是去膠困難，為了解決這個難題，德國 Alpha Plasma 推出專業去除 SU-8 膠的微波等離子去膠機。該設備采用氟基氣體與 SU-8 膠的化學反應，實現快速去除 SU-8 膠的功能。另外設備還可集成溫控系統，去膠過程中對襯底溫度的控制保證了高深寬比金屬結構的完整性，最終實現高質量 MEMS 器件的制備。