德國MBE-Komponenten 分子束外延系統OCTOPLUS 400

OCTOPLUS 400分子束外延是一款通用型MBE系統，非常適合于III/V族， II/VI族，及其他復合半導體材料應用。兼容2-4英寸標準晶片。豎直分割式腔體設計，可以裝配各種源爐，實現不同材料分子束外延生長。

系統特點：

● 用于研發的普適性MBE系統

● 應用于III/V族， II/VI族材料外延生長

● 適用于2-4英寸樣品

● 8個標準的CF法蘭孔(根據要求可以拓展到10個)

● 可以升級和選配實現系統擴展

● 原位生長表征

● 易于使用和方便維護

可以根據所有客戶的要求，提供不同種類的蒸發源，包括K-cell、電子束蒸發源、熱裂解源、閥式裂解源、氣體裂解源等?？梢允褂檬⒕д?，反射式高能電子衍射儀(RHEED)或者四極桿質譜儀實現樣品生長的原位監測。 EpiSoft MBE軟件可以精確控制所有的擋板，蒸發源源和樣品臺加熱器溫度。最大程度確保了操作的重復性。

Octoplus 400的主要特點是極高的可靠性和普適性，以及其占地空間小。這些特點使得我們的系統非常適合于研發。

標準的Octoplus 400有8個4.5’’(CF63)法蘭口，可以根據需求拓展到10個法蘭口?？焖龠M樣室(Loading Chamber)配有高精度磁力傳輸樣品桿，可以在不破壞MBE腔室真空的前提下進行快速樣品傳輸。