德國MBE-Komponenten 分子束外延 OCTOPLUS 500 系統

OCTOPLUS 500 系統是為了在6英寸襯底上生長高質量的III/V族或者II-VI族異質結構材料而研發的。樣品臺選用熱解石墨加熱或者鎢、鉭加熱絲。OCTOPLUS 500 MBE系統是公認的非常適合于III/V族， II/VI族或其他異質結構材料生長應用研發與生產。

OCTOPLUS 500 MBE系統的主要特點是極高的可靠性和普適性。標準的Octoplus 500有11個呈放射狀分布的源孔，可以根據需要增選3個源孔?？焖俪檎婵者M樣室配有水平磁力桿傳輸系統，可以在不破壞MBE腔室真空的前提下，簡便地進行樣品傳輸。

OCTOPLUS 500 MBE系統的的主要參數規格：

● ID 550 mm

● 應用于III/V族， II/VI族或其他異質結構材料

● 最大6英寸晶片，或7x2英寸晶片

● 進樣室和緩沖腔室

● 線性樣品傳輸系統

● 標準法蘭孔數目(標準11個，可按要求增加3個)

● 束流源，氣體源，樣品臺

● 抽真空系統(離子吸附泵，分子泵，低溫泵等)

● 原位表征能力

● 軟件/硬件控制系統

● 額外要求可定制