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Lifft off光刻膠
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Liftft off光刻膠 | 光刻膠型號 | 適用光譜 | 厚度范圍/um | 分辨率 | 適用工藝 |
RN 218系列 | g/h/i-Line | 4-12um | 2um | lift off 厚膜負性光刻膠 | |
RN 246系列 | g/h/i-Line | 4-12um | 2um | lift off 負性光刻膠 | |
ma-N 400系列/1400系列 | g/h/i-Line | 4-12um | 0.5um | 負性光刻膠,可用于傳統光刻和lift off工藝,適用于高溫工藝 | |
AZ nLOF 2000系列 |
i-line |
2-11um |
0.5um | lift off 負性光刻膠,耐特高溫;可用于RIE工藝 | |
LOR/PGMI |
g/h/i-Line |
0.35-7 |
0.5um | 雙層膠工藝 | |
LOL2000 | g/h/i-Line | 130nm-300nm | 0.5um | 雙層膠工藝 |
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