2020年9月9-11日， 中國光電博覽會，藍星宇1A87a展，主要展出德國Nano nanlytik（百及納米) 進口針尖/多功能電子束光刻機， 單離子注入機， 原子力顯微鏡。

德國Nano nanlytik（百及納米)  針尖/多功能電子束光刻機，最小線寬5nm/8nm, 前沿科技，獨家專利技術。單離子注入機，可以經定位，經定量，有序排列離子。廣泛應用于微納加工，半導體芯片，納米量子點耦合器件等。非常適合高校、科研機構、科技企業等客戶。

德國單離子注入系統，單離子到樣品指定的空間位置，用于量子計算核心器件的制作，量子傳感器件的制作，納米量子點耦合器件以及單電子晶體管電路的制作等，實現多種離子（如H、N、O、SI、P、B、As、Te、Ar 等）的精準定位定量摻雜注入。德國Nano nanlytik 的單離子注入系統是制作量子計算器件的利器。