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40KHz與13.56MHz之間的差別
40KHz等離子體在能量轉化方面優于13.56MHz,前者將更多的能量轉化為粒子動能及化學活性,后者在等離子處理過程中產生的熱量比較多,也就是其中很多能量轉化為了熱能,所以就降低了粒子的動能及化學活性。處理的效果就會不理想,或者是需要加特殊氣體和增加處理時間等等,我們的設備很多時候用空氣處理就能達到要求的效果,這是很多其他同類設備無法達到的。13.56KHz等離子體電場中的頻率振蕩較高,相對于40KHz射頻等離子而言電子在轉變方向之前的運動距離更短。這意味著在每個運動周期中能夠到達器件表面的粒子數量更少,因此表面受到粒子撞擊減少,從而降低了清洗的效率和效果,直接影響產品質量和產量。40KHz射頻等離子體是最廣泛使用和通用性好的等離子體技術,它應用于半導體、微電子、醫療和通用工業的寬廣領域內。在通用工業、半導體、微電子、醫療行業,需要清潔、涂覆或化學改性的材料表面被浸入到射頻等離子體的能量環境中,除了40KHz射頻等離子體的強烈的化學作用外,其攜帶動量的粒子到達材料表面后可以物理地去除更加化學惰性的表面沉淀物(如金屬氧化物和其它無機物沉淀)以及交聯聚合物以達到清潔、活化目的。
應該選用哪種頻率?
這個問題無法直接回答而需要根據具體情況具體分析。目前kHz的電源是主要趨勢。kHz的設備能夠處理大約90%的客戶產品。
以下概述能夠幫助你決定選用何種頻率:
頻率40 kHz:
頻率13.56 MHz:
頻率2.45GHz:
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